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氮化硅发热体的发热过程

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氮化硅发热体的发热过程

发布日期:2019-06-03 00:00 来源: 点击:

氮化硅发热体的发热过程


由于微波有较强的穿透能力,它能到样品内,先使氮化硅发热体温度达到着火点并引发燃烧合成。烧结波沿径向从里向外传播,这就能使整个样品是均匀地被加热,完成烧结反应。微波点火引燃在样品中产生的温度梯度(dT/dt)传统点火方式小得多。换句话说,微波烧结过程中烧结波的传播要比传统加热方式均匀得多。将金属利用微波加热到1300-2000℃高温烧结成陶瓷。 当样品的压紧密度高时,传统加热方式引发的燃烧波的传播速率大大减小,因"自熄"而不能自然。但是,若采用微波辐照,由于温度的升高是反应物质本身吸收(或扩散)微波能量的结果,只要微波源不断地给予能量,样品温度将很快达到着火温度(T1)。反应一旦引发,放出的热量又促使样品温度进一步升达到燃烧温度(T2),样品吸收微波的能力也同时增加,这就反应能够保持在一个高的温度(T3>T1)下进行。通过硅亚胺的热分解可以直接制得很纯的α-Si3N4粉末;反应速度、也比较快,至今已开始应用于生产非晶氮化硅薄膜。如果作为合成氮化硅微晶的方法,此路径较长,且需要低温条件。日本UBE公司早在1992年就建成了年产300 t的生产线,这是当时世界上规模大的氮化硅生产线。

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